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| 一种可双向调节缝宽的狭缝装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
发明人: 倪明阳 ; 巩岩; 张巍; 赵磊; 王学亮; 袁文全
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| 一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵磊; 王学亮; 袁文全
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| 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 巩岩; 张巍; 倪明阳; 赵磊; 王学亮; 袁文全
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| 一种光学成像对中测量装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-11-30, 公开日期: 2011-11-30
发明人: 耿天文; 李建荣; 刘畅; 赵雁; 刘绍锦; 沈铖武; 李冬宁; 刘兆荣
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| 半导体激光器台式旋转装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-11-16, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 刘云; 王立军; 单肖楠; 赵智玉; 宁永强; 秦莉; 曾玉刚; 曹军胜; 佟存柱
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| 一种角度测量设备的测量精度的检测方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-09-28, 公开日期: 2011-09-28
发明人: 赵雁; 刘绍锦; 耿天文; 李冬宁; 刘航; 刘兆蓉
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| 用于半导体激光器电极焊接的定位装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-09-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 刘云; 王立军; 赵智玉; 秦莉; 宁永强; 单肖楠; 付喜宏; 王彪
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| 一种投影物镜系统中光学元件调心装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-24, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 巩岩; 赵磊; 张巍; 倪明阳
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| 高精度全自动大型转载系统 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2011-08-17
发明人: 王志乾; 刘绍锦; 李建荣; 赵雁; 刘畅; 沈铖武; 耿天文; 李冬宁
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| 一种柔性喷管五自由度运动参数的测量装置和方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 刘绍锦; 沈铖武; 王志乾; 耿天文; 赵雁; 刘畅; 李建荣; 李冬宁
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