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纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
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激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
采样点分布对基于面形斜率径向基模型的自由曲面拟合精度的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 7, 页码: 1564-1572
作者:  武鹏飞;  张赞;  郑义;  张娟;  王尧尧;  赵星;  王灵杰;  伍雁雄
caj(540Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:323/111  |  提交时间:2017/09/17
光学设计  自由曲面  拟合精度  采样点分布