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特征峰值投影技术应用于鱼粉蛋白近红外波长优选 期刊论文
科学技术与工程, 2016, 期号: 31, 页码: 8-11+40
作者:  刘振尧;  陈福;  陈华舟;  卢启鹏;  高洪智;  丁海泉;  温江北
caj(224Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/125  |  提交时间：2017/09/17
近红外  鱼粉蛋白  特征峰  连续投影  波长优选  
应用于22nm及以下节点的极紫外光刻胶研究进展 期刊论文
科学技术与工程, 2016, 期号: 11, 页码: 120-127
作者:  鹿国庆;  吴义恒;  李伶俐;  卢启鹏
caj(280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：351/145  |  提交时间：2017/09/17
极紫外光刻  光刻胶  平衡关系  材料设计