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基于一维光子晶体能带结构的陷波滤光片设计方法 期刊论文
光子学报, 2021, 卷号: 50, 期号: 11, 页码: 287-301
作者:  陈奕辛;  付秀华;  张功;  张静;  杨飞
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自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘 期刊论文
光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 04, 页码: 71-79
作者:  孙彦杰;  刘华;  李金环;  陆子凤;  张莹;  罗钧
caj(4828Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：138/39  |  提交时间：2020/08/24
数字微镜阵列  扫描光刻  自由曲面光学透镜  成像线性错位  图形边缘  投影成像系统  
BaTiO_3晶体薄膜PLD法生长工艺参量研究 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 5, 页码: 77-81
作者:  张静;  付秀华;  杨飞;  杨彬;  孙德贵
caj(721Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：348/104  |  提交时间：2015/04/17
光学薄膜  光谱分析  真空镀膜  光学特性  生长温度  激光能量  结晶质量  表面粗糙度  
考虑接触边界条件的经纬仪主镜面形误差分析 期刊论文
光子学报, 2014, 期号: 12, 页码: 138-142
作者:  谢军;  曹立华;  韩光宇;  乔健;  刘永明;  刘震宇
caj(294Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：434/128  |  提交时间：2015/04/17
工程力学  经纬仪  仿真  主镜  面形误差  接触  参数化  
超光滑加工技术中光学元件表面材料的均匀去除 期刊论文
光子学报, 2013, 期号: 04, 页码: 417-422
作者:  陈华男;  王君林;  刘健
caj(1466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：366/102  |  提交时间：2014/03/07
小磨头  超光滑加工  均匀去除  等值驻留时间  
用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能 期刊论文
光子学报, 1995, 期号: 03, 页码: 249-257
作者:  郭玉彬;  李福田;  唐九华;  李加;  慎微;  杜涌兴
caj(247Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：405/82  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  近贴式  光刻胶  光刻术