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粗糙度对极紫外投影光刻掩模的影响 期刊论文
光电工程, 2005, 期号: 10, 页码: 80-83
作者:  杨雄;  金春水;  姚志华;  曹健林
caj(1187Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：460/102  |  提交时间：2013/03/11
极紫外投影光刻  掩模  粗糙度  反射光谱  多层膜  
X射线W/B_4C宽带多层膜的优化设计和制备 期刊论文
光学学报, 2005, 期号: 10, 页码: 139-141
作者:  姚志华;  金春水;  杨雄;  张立超;  金伟华;  曹健林
caj(88Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：460/83  |  提交时间：2013/03/11
X射线光学  宽带多层膜  评价函数  遗传算法  磁控溅射  
软X射线-真空紫外波段光谱光源研究 期刊论文
光谱学与光谱分析, 2005, 期号: 03, 页码: 360-364
作者:  陈波;  尼启良;  曹健林;  李福田;  陈星旦
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软x射线  真空紫外  光谱  光源  
极紫外多层膜残余应力初步研究 期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 期号: 03, 页码: 377-380
作者:  向鹏;  金春水;  张立超;  金伟华;  刘颖敏;  曹健林
caj(98Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：443/67  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  多层膜  残余应力