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纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：334/92  |  提交时间：2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测  
移频式全息光栅曝光干涉条纹锁定系统的设计 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 2, 页码: 318-324
作者:  宋莹;  巴音贺希格;  齐向东;  张宁;  唐玉国
caj(695Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：346/114  |  提交时间：2015/04/17
全息光栅  曝光  莫尔条纹  相位锁定  声光调制器