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| 一种可双向调节缝宽的狭缝装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-28, 公开日期: 2011-12-28
发明人: 倪明阳 ; 巩岩; 张巍; 赵磊; 王学亮; 袁文全
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| 一种光刻投影物镜中镜片的支撑装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 倪明阳; 巩岩; 张巍; 赵磊; 王学亮; 袁文全
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| 一种光刻机投影物镜镜头的装调装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-12-14, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 巩岩; 张巍; 倪明阳; 赵磊; 王学亮; 袁文全
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| 一种投影物镜系统中光学元件调心装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-24, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 巩岩; 赵磊; 张巍; 倪明阳
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| 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-08-17, 公开日期: 2011-08-17
发明人: 赵磊; 巩岩; 倪明阳; 张巍; 王学亮; 袁文全
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| 一种色温可调的白场仪 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-05-04, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 巩岩; 张巍; 王学亮; 赵磊
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| 一种光学元件重力变形的补偿装置 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-04-13, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 袁文全; 巩岩; 张巍; 倪明阳; 王学亮; 赵磊
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| 一种宽幅成像光谱仪视场分束器 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-01-12, 公开日期: 2012-08-29
发明人: 颜昌翔; 张军强; 郑玉权; 刘伟
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