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前馈控制算法校正相移微动台非线性运动 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 8, 页码: 879-884
作者:  张春雷;  刘健;  王绍治;  史振广;  代雷;  彭利荣;  向阳
caj(464Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：393/127  |  提交时间：2015/04/17
压电陶瓷  柔性铰链  位移放大机构  非线性运动校正  相移误差  
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104
作者:  于长淞;  齐克奇;  张春雷;  向阳
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：457/124  |  提交时间：2014/03/07
剪切干涉  光栅移相  压电陶瓷  有限元