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Offner成像光谱仪的消像差技术 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 3001-3011
作者:  赵美红;  李文昊;  巴音贺希格;  吕强
caj(413Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：494/130  |  提交时间：2018/04/09
Offner成像系统  成像光谱仪  像差校正  凸面全息光栅  
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141
作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹;  潘明忠;  巴音贺希格
caj(466Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：337/93  |  提交时间：2017/09/17
激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测