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微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者:  谢耀;  王丽萍;  郭本银;  王君;  苗亮;  王辉;  周烽
caj(532Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：293/100  |  提交时间：2017/09/17
成像系统  微缩投影系统  垂轴放大率测量  点衍射干涉仪  离焦