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并联自解耦二自由度微位移平台的研制与测量 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 1874-1881
作者:  齐克奇;  向阳;  丁亚林;  方超;  周振平
caj(489Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：420/124  |  提交时间：2018/04/09
并联式  自解耦  微位移平台  嵌套式平行导向机构  有限元方法  
压电陶瓷迟滞非线性前馈补偿器 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2217-2223
作者:  方楚;  郭劲;  徐新行;  姜振华;  王挺峰
caj(412Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：396/104  |  提交时间：2017/09/17
压电陶瓷  迟滞非线性  前馈补偿器  Pi模型  Stop算子  
基于解析分区法设计闪耀全息凹面光栅 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2303-2308
作者:  谭鑫;  沈晨;  吴娜;  张方程;  巴音贺希格
caj(754Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：485/135  |  提交时间：2014/03/07
凹面光栅  闪耀光栅  分区法  衍射效率  离子束刻蚀