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掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476
作者:  杨旺;  黄玮;  尚红波
caj(1563Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：263/89  |  提交时间：2017/09/17
光刻  光学设计  光刻投影物镜  畸变  勒让德多项式  公差分析