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Effect of period setting value on printed phase in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 9
作者:  Jiang S.;  Bayanheshig;  Li W.;  Song Y.;  Pan M.
caj(447Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：339/50  |  提交时间：2015/04/24
Effect of measured interference fringe period error on groove profile of grating masks in scanning beam interference lithography system 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 4
作者:  Jiang S.;  Bayanheshig;  Song Y.;  Pan M.;  Li W.
浏览  |  Adobe PDF(4154Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：455/70  |  提交时间：2015/04/24
Optimization design method for optical system of prism-grating ultraspectral imaging spectrometers 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 9
作者:  Yang Z.;  Tang Y.;  Bayanheshig;  Pan M.;  Cui J.;  Yang J.
caj(623Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：231/64  |  提交时间：2015/04/24
Effects of ultrasonic vibration and wettability enhancement on surface roughness on blaze plane of silicon echelon grating 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2014, 卷号: 34, 期号: 3
作者:  Jiao Q.;  Bayanheshig;  Tan X.;  Li Y.;  Zhu J.;  Wu N.
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