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一种小口径凸非球面补偿器的设计 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 11, 页码: 302-309
作者:  邢振冲;  张葆;  洪永丰
caj(1305Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：230/73  |  提交时间：2016/07/06
检测  光学设计  补偿器  公差分析  
基于面形检测的光学元件多层膜均匀性测量 期刊论文
中国激光, 2015, 期号: 07, 页码: 267-272
作者:  王辉;  周烽;  喻波;  谢耀;  于杰;  刘钰;  王丽萍
caj(1280Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：343/121  |  提交时间：2016/07/06
测量  光刻技术  有限元分析  高复现性支撑装置  薄膜均匀性测量