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光刻物镜中主动液体透镜的像差特性研究 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 12, 页码: 1222003
作者:  袁文全;  巩岩
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长程轮廓仪用于筒状超光滑表面测量的误差分析及校正 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1112001-1
作者:  巩岩
Adobe PDF(919Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：610/155  |  提交时间：2012/05/11
深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:  赵阳;  巩岩;  张巍
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掠入射光学系统设计 期刊论文
光学学报, 2009, 卷号: 8, 期号: 29, 页码: 2276
作者:  巩岩
caj(432Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：209/28  |  提交时间：2012/09/25