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光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1425-1433
作者:  赵磊;  巩岩;  赵阳
caj(1756Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：394/122  |  提交时间：2014/03/07
光刻物镜  柔性铰链  微动调整机构  系统波像差