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自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘 期刊论文
光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 04, 页码: 71-79
作者:  孙彦杰;  刘华;  李金环;  陆子凤;  张莹;  罗钧
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数字微镜阵列  扫描光刻  自由曲面光学透镜  成像线性错位  图形边缘  投影成像系统  
Illumination uniformity improvement in digital micromirror device based scanning photolithography system 期刊论文
Optics Express, 2018, 卷号: 26, 期号: 14, 页码: 18597-18607
作者:  Xiong, Z.;  Liu, H.;  Chen, R. H.;  Xu, J.;  Li, Q. K.;  Li, J. H.;  Zhang, W. J.
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maskless lithography  dmd  fabrication  elements  Optics  
二元光学元件在微光夜视物镜中的应用研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2013, 期号: Z1, 页码: 20-23
作者:  韩雪冰;  刘华;  张文静;  朴景利;  张有林;  卢振武
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衍射元件  微光夜视