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改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:  匡尚奇;  张超;  王一名;  周祥燕;  谢耀
caj(654Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：390/121  |  提交时间：2018/04/09
薄膜光学  多层膜设计  改进型量子进化算法  宽带极紫外多层膜  
小型高精度软X射线_极紫外反射率计 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 10
作者:  尼启良;  刘世界;  陈波
caj(231Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：456/75  |  提交时间：2012/09/25
13_9和19_6nm正入射Mo_Si多层膜反射镜的反射率测量 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 9
作者:  董宁宁
caj(434Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：241/58  |  提交时间：2012/09/25
极紫外单色仪波长定标 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 9
作者:  董宁宁
caj(264Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：331/61  |  提交时间：2012/09/25
Mo/Si多层膜反射镜在带电粒子照射下反射率变化 期刊论文
光学精密工程, 2005, 期号: S1, 页码: 38-41
作者:  陈波;  李忠芳;  尼启良;  齐立红;  王丽辉
caj(79Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：387/96  |  提交时间：2013/03/11
空间辐射环境  Mo/si多层膜反射镜  带电粒子  辐射损伤  
Mo/Si多层膜残余应力的研究 期刊论文
光学精密工程, 2003, 期号: 01, 页码: 62-67
作者:  向鹏;  金春水
caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/69  |  提交时间：2013/03/11
极紫外光刻  多层膜  残余应力