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Effect of deposition temperature on the structural and surface properties of AlN by plasma enhanced atomic layer deposition 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 4
作者:  Chen, F.;  X. Fang;  S. Wang;  S. Niu;  F. Fang;  D. Fang;  J. Tang;  X. Wang;  G. Liu and Z. Wei
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AlxGa1-xN和AlN/GaN材料的MOCVD生长与器件研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  陈一仁
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氮化铝压电薄膜的反应磁控溅射制备与性能表征 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  毕晓猛
Adobe PDF(6951Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：741/1  |  提交时间：2014/08/21