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低功耗紫外光能量计的研究与设计 期刊论文
激光与光电子学进展, 2017, 页码: 254-260
作者:  王军;  韩力;  杜博军;  杨会玲;  何昕
caj(1578Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:398/122  |  提交时间:2018/04/09
测量  光能量检测  低功耗  双补偿  高精度  
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:244/2  |  提交时间:2015/05/03
光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
基于ZigBee的大型光电望远镜环境监测系统 期刊论文
电子测量技术, 2011, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 101-104
作者:  吴庆林;  王帅;  乔兵
Adobe PDF(335Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:482/132  |  提交时间:2012/05/11
深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 29-34
作者:  巩岩
Adobe PDF(419Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:407/136  |  提交时间:2012/05/11
星等能量检测系统设计 期刊论文
光机电信息, 2010, 卷号: 27, 期号: 11, 页码: 90-95
作者:  付有余;  甘新基
Unknown(262Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:461/141  |  提交时间:2012/09/25