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光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:  代晓珂;  金春水;  王丽萍;  于杰
caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：348/104  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制  
光纤点衍射干涉仪波面参考源研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  代晓珂
Adobe PDF(2717Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：243/2  |  提交时间：2015/05/03
光学检测  极紫外光刻  波面参考源  偏振控制  
紫外高光谱臭氧探测仪在轨定标方法研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  李占峰
Adobe PDF(3168Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：509/2  |  提交时间：2014/08/21