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投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
caj(8435Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：180/0  |  提交时间：2020/08/24
投影光刻物镜  像质补偿技术  柔顺微动机构  主动变形镜  
手持式分光测色仪设计 期刊论文
发光学报, 2019, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 1295-1302
作者:  王思宇;  黄旻;  颜昌翔
caj(1192Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：128/21  |  提交时间：2020/08/24
分光测色仪  LED  环形照明  光照度