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PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳;  房丹;  唐吉龙;  王晓华;  刘国军;  魏志鹏
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：321/95  |  提交时间：2017/09/17
氮化铝  等离子增强原子层沉积  生长速率  结晶化  表面粗糙度  沉积温度  
Effect of deposition temperature on the structural and surface properties of AlN by plasma enhanced atomic layer deposition 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2016, 卷号: 45, 期号: 4
作者:  Chen, F.;  X. Fang;  S. Wang;  S. Niu;  F. Fang;  D. Fang;  J. Tang;  X. Wang;  G. Liu and Z. Wei
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