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Improved Laser-Spot-Position Resolution Model 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2019, 卷号: 46, 期号: 9
作者:  Y.Chen;  W.J;  W.J;  Z.N
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Optics,Measurement  
Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:  Mi, X.;  H. Yu;  H. Yu;  X. Qi;  X. Li and Q. Wan
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Precision analysis of grating replicated mosaic error based on the principle of fraunhofer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Lu, Y.;  X. Qi;  H. Yu;  X. Li;  S. Zhang;  S. Jiang and L. Yin
Adobe PDF(1613Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：319/104  |  提交时间：2017/09/11
Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Yao, C. and Y. Gong
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Study on main factors affecting position detection accuracy of four-quadrant detector 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 12
作者:  Zhang, H.;  Y. Chen;  T. Geng;  J. Wu and T. Chen
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