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光学材料均匀性对光学系统像质影响研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  杨添星
Adobe PDF(11650Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：344/3  |  提交时间：2014/03/15
均匀性  投影光刻物镜  光线追迹  光学设计  
S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  赵菲菲
Adobe PDF(2200Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：407/1  |  提交时间：2014/03/15
计算机辅助装调  S-h波前传感器  投影光刻物镜  质心探测精度  阈值选取