中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
Design and fabrication of EUV broadband multilayer mirrors with discrete thicknesses 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  Kuang, Shang-Qi;  Li, Shuo;  Yang, Hai-Gui;  Huo, Tong-Lin;  Zhou, Hong-Jun
浏览  |  Adobe PDF(985Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：366/122  |  提交时间：2019/09/17
Multilayers  Extreme ultraviolet lithography  Fabrication  Mirrors  Reflection  
Application of improved quantum evolutionary algorithm in design of broadband EUV multilayer 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 8
作者:  Kuang, S.-Q.;  C. Zhang;  Y.-M. Wang;  X.-Y. Zhou and Y. Xie
浏览  |  Adobe PDF(867Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：298/91  |  提交时间：2018/06/13