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压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  李朋志
caj(10011Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:146/0  |  提交时间:2020/08/24
光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿  
压电陶瓷两维偏摆镜驱动系统的设计 学位论文
: 中国科学院大学, 2015
作者:  吴伊玲
Adobe PDF(2287Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:384/2  |  提交时间:2016/04/11
压电陶瓷  两维偏摆镜  驱动控制系统  改进非对称pi迟滞模型  前馈pid控制  
压电陶瓷驱动精密摆镜控制系统的研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  赵广义
Adobe PDF(1437Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:509/2  |  提交时间:2015/05/03
压电陶瓷  两维摆镜  动态迟滞模型  前馈pid 控制