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大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  姚雪峰
caj(23894Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：249/0  |  提交时间：2019/09/23
光栅刻划机  机刻光栅  研磨加工  传动精度测量  宏微双重驱动  
大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  糜小涛
caj(5660Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：142/0  |  提交时间：2019/09/23
衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性  
Study on the Laser-Induced Plasma Spectroscopy Based on the Echelle Spectrometer 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2018, 卷号: 38, 期号: 5, 页码: 1605-1609
作者:  Zhang, R.;  Zhu, J. W.;  Liu, J. L.;  Cui, J. C.;  Li, X. T.;  Bayanheshig
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Resolution  Middle Echelle  Echelle spectrometer  Laser-induced plasma  spectroscopy  induced breakdown spectroscopy  libs  emission  
Off-axis scanning three-grating monochromator 期刊论文
Hongwai yu Jiguang Gongcheng/Infrared and Laser Engineering, 2018, 卷号: 47, 期号: 2
作者:  Chen, Jianjun;  Cui, Jicheng;  Liu, Jia'nan;  Yang, Jin;  Sun, Ci
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Monochromators  Calibration  Diffraction gratings  Optical design  Scanning  Spectral resolution  Spectrometers  Stray light  Wheels  Worm gears  
高衍射效率曲面光栅摆动刻蚀技术研究 学位论文
博士, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  沈晨
caj(7770Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：187/0  |  提交时间：2019/09/23
曲面光栅离子束刻蚀机  三维工作台  凸面光栅  摆动刻蚀  硅改性RB-SiC