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绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 7, 页码: 1814-1819
作者:  刘华;  卢振武;  熊峥;  王尧;  王鹤;  黄剑波;  谭向全;  孙强
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:339/117  |  提交时间:2015/04/17
绝对式光栅尺  光栅码道  母尺刻划  数字微镜器件  曝光头  计量光栅  
莫尔条纹光电信号自动补偿技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  高旭
Adobe PDF(2763Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:419/2  |  提交时间:2014/08/21
绝对式光栅尺母光栅刻划装置的设计 期刊论文
机电产品开发与创新, 2014, 期号: 2, 页码: 108-109+79
作者:  郑黎明;  谭向全
caj(482Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:287/98  |  提交时间:2015/04/17
绝对式光栅尺  母尺光栅  刻划装置  曝光光源  
变温环境下小型光电编码器精度检测系统研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
作者:  孙树红
Adobe PDF(1071Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:340/1  |  提交时间:2014/03/15
小型光电编码器  精度检测  变温环境  基准编码器