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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [6]
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期刊论文 [6]
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2017 [2]
2014 [4]
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中文 [6]
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Guangxue J... [3]
Guangxue X... [1]
Zhongguo J... [1]
光学精密工程 [1]
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Influence and Revising Method of Grating Ruling Engine's Abbe Error on Quality of Grating Wavefront
期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 9
作者:
Mi, X.
;
H. Yu
;
H. Yu
;
X. Qi
;
X. Li and Q. Wan
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提交时间:2018/06/13
Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System
期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:
Wang, W.
;
Bayanheshig
;
M. Pan
;
Y. Song and W. Li
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提交时间:2018/06/13
光栅刻划刀架系统的运行精度对光栅光谱性能的影响
期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 10, 页码: 2674-2682
作者:
杨超
;
于海利
;
冯树龙
;
李晓天
;
齐向东
;
姜珊
;
唐玉国
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提交时间:2015/04/17
刻划刀架
刻划光栅
刻线弯曲
刻线位置误差
光栅光谱
Yaw angle correction of grating line based on single piezoelectric actuator
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 2039-2046
作者:
Li X.-T.
;
Qi X.-D.
;
Yu H.-L.
;
Gao J.-X.
;
Feng S.-L.
;
Bayanheshig
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提交时间:2015/04/24
Mechanism of frictional chatter during mechanical ruling grating
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 11, 页码: 3061-3066
作者:
Shi G.-F.
;
L Y.-Y.
;
Shi G.-Q.
;
Jiri G.
;
Xiao W.
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提交时间:2015/04/24
Influence of running accuracy of ruling carriage system on grating spectrum performance
期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2014, 卷号: 22, 期号: 10, 页码: 2674-2682
作者:
Yang C.
;
Yu H.-L.
;
Feng S.-L.
;
Li X.-T.
;
Qi X.-D.
;
Jiang S.
;
Tang Y.-G.
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提交时间:2015/04/24