中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	Beam alignment and convergence analysis of scanning beam interference lithography systems 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12 作者: Wang, W.; Bayanheshig; Y. Song; S. Jiang and M. Pan 浏览 \| Adobe PDF(1920Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：422/80 \| 提交时间：2017/09/11
	Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4 作者: Yu, B.; C. Li; C. Jin and C. Wang 浏览 \| Adobe PDF(1342Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：321/63 \| 提交时间：2017/09/11

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