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我国准分子激光技术发展现状及趋势研究 期刊论文
中国工程科学, 2020, 卷号: 22, 期号: 03, 页码: 29-34
作者:  范元媛;  周翊;  郭馨;  王倩;  金春水;  楼祺洪
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激光器  准分子激光技术  材料加工  
Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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原子与分子物理学  分子动力学  反射  再溅射  Mo/Si原子  角度分布  能量分布  
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度