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PEALD沉积温度对AlN的结构和表面特性的影响（英文） 期刊论文
红外与激光工程, 2016, 期号: 4, 页码: 219-222
作者:  陈芳;  方铉;  王双鹏;  牛守柱;  方芳;  房丹;  唐吉龙;  王晓华;  刘国军;  魏志鹏
caj(194Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：328/97  |  提交时间：2017/09/17
氮化铝  等离子增强原子层沉积  生长速率  结晶化  表面粗糙度  沉积温度  
超高精度光学元件加工技术 期刊论文
红外与激光工程, 2013, 期号: 06, 页码: 1485-1490
作者:  马占龙;  王君林
caj(1003Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：398/122  |  提交时间：2014/03/07
光学制造  超光滑  离子束  面形精度  表面粗糙度  
新型硫系玻璃在低成本热成像系统设计中的应用 期刊论文
红外与激光工程, 2011, 卷号: 40, 期号: 4
作者:  史广维;  张新;  王灵杰;  何锋云;  张建萍
Adobe PDF(1510Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：581/186  |  提交时间：2012/05/11
霍尔离子源辅助制备碳化硅改性薄膜 期刊论文
红外与激光工程, 2008, 期号: 4
作者:  高劲松;  王彤彤;  宋琦;  王笑夷;  陈红;  郑宣鸣;  范镝
Unknown(431Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：499/182  |  提交时间：2012/09/25
碳化硅  表面改性  霍尔离子源  离子辅助  
一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪 期刊论文
红外与激光工程, 2007, 期号: S1
作者:  张贵彦;  袁宏韬;  缪同群
Unknown(251Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：558/156  |  提交时间：2012/09/25
全积分散射  积分球  均方根粗糙度  超光滑  
光学散射法表面特征的测量与分析 期刊论文
红外与激光工程, 2006, 卷号: 1, 期号: 35, 页码: 82
作者:  陈波
Unknown(75Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：321/132  |  提交时间：2012/09/25