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Modeling multilayer coating profiles with defects on EUV collector with grating 期刊论文
Optical Engineering, 2019, 卷号: 58, 期号: 10, 页码: 9
作者:  S.Z.Sun;  C.S.Jin;  B.Yu;  T.Guo;  S.Yao;  W.Y.Deng;  C.Li
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EUV collector with grating,multilayer coating profile,coating defects,deposition model,EUV reflectance,lithography,Optics