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激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 33-38
作者:  熊木地;  谭久彬;  邢忠宝
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平稳驱动  机电混合滤波器  锁相环速度控制  模糊参数自调整  
真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板 (实用新型) 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2003-12-17, 公开日期: 2003-12-17
发明人:  宋航;  李志明
Adobe PDF(302Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:524/64  |  提交时间:2012/08/29
动载体成像模糊的振动被动控制技术 期刊论文
光学技术, 2003, 期号: 03, 页码: 281-283
作者:  张葆;  贾平;  黄猛
caj(82Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:287/45  |  提交时间:2013/03/11
动载体  成像模糊  动态分辨力  振动被动控制