真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板 (实用新型)

	真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板 (实用新型)
	宋航; 李志明
	2003-12-17
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2003-12-17
专利类型	实用新型
摘要	本实用新型涉及一种对真空镀膜系统中真空室观察窗的改进。包括基板１０、观察孔１１、转轮１２、转动轮１３、弹簧１４、磁铁１５和观察孔１６，本实用新型解决原有的观察窗在蒸发不透光的材料时，开始能看清真空室内蒸发物的情况，逐渐就模糊，往往没有等到蒸发的膜达到要求的厚度时，就看不见真空室内部情况。而使用本实用新型的转动档板，就能……
资助项目	2592656
申请号	3210900.8
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12367
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	宋航,李志明. 真空镀膜系统中真空室观察窗的转动档板 (实用新型)[P]. 2003-12-17.