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高精度衍射光栅刻划机的最新技术进展 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: S2, 页码: 438-439
作者:  时轮;  郝德阜;  齐向东
caj(37Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：367/76  |  提交时间：2013/03/11
衍射光栅刻划机  双重定位  间歇式  连续式  
高精度的光电式衍射光栅刻划机 期刊论文
仪器仪表学报, 2001, 期号: S2, 页码: 103-104
作者:  时轮;  郝德阜;  齐向东
caj(31Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：375/71  |  提交时间：2013/03/11
光栅刻划机  控制原理  对比