中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	Research on Surface Roughness Related Coating Processes of Mo/Si Multilayers 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 7 作者: S. Sun,C. Jin,B. Yu,T. Guo,S. Yao,C. Li and W. Deng 浏览 \| Adobe PDF(2105Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：145/75 \| 提交时间：2021/07/06
	Design and fabrication of broadband Mo/Si multilayer films for extreme ultra violet lithography illumination system 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 4 作者: Yu, B.; C. Li; C. Jin and C. Wang 浏览 \| Adobe PDF(1342Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：327/65 \| 提交时间：2017/09/11
	Preparation and characteristic of oxide capping-layer on extreme ultraviolet reflective mirrors 期刊论文 Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 3 作者: Wang, X.; C. Jin; C. Li and S. Kuang 浏览 \| Adobe PDF(1950Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：290/106 \| 提交时间：2016/08/24
	Y孔分形频率选择表面的设计期刊论文光学精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 959-966 作者: 高劲松; 冯晓国; 赵晶丽 Adobe PDF(1167Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：623/192 \| 提交时间：2012/05/11

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