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Correction Algorithm of Systemic Errors in Grating Lateral-Shearing Interferometer 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 8
作者:  Zhang, Lu;  Xiang, Yang
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Shearing  Aberrations  Errors  Interferometers  Measurement  Wavefronts  
Grating Lateral Shearing Interferometry for Suppressing Zero-Order Crosstalk 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2018, 卷号: 45, 期号: 5
作者:  Fang, Chao;  Xiang, Yang;  Qi, Keqi
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Aberrations  Crosstalk  Interferometry  Measurement  Photolithography  Shearing  Wave interference  Wavefronts  
Profile online detection for two-dimensional stage x axis mirror in scanning exposure systems 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 1
作者:  Liu, Z.;  W. Li;  Bayanheshig;  Y. Song;  S. Jiang;  X. Li and Q. Lu
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Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Yao, C. and Y. Gong
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