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高精度物镜波纹管致动器的线性度分析 期刊论文
光子学报, 2011, 期号: 10, 页码: 1526-1530
作者:  袁文全;  巩岩;  张巍;  王学亮;  倪明阳;  赵磊
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高精度物镜  气动  波纹管  几何非线性  有限单元法  
大型衍射光栅刻划机控制系统研究 期刊论文
中国科学技术大学学报, 2011, 期号: 06, 页码: 560-564
作者:  刘栋材;  申远;  钟俊;  齐向东;  于海利;  竺长安
caj(1562Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：444/103  |  提交时间：2013/03/11
高精度光栅  机械结构  控制系统  定制负荷  
离轴非球面CGH高精度检测技术 期刊论文
光学精密工程, 2011, 期号: 03, 页码: 528
作者:  黎发志;  罗霄;  赵晶丽;  薛栋林;  郑立功;  张学军
caj(128Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：481/81  |  提交时间：2013/03/11
离轴非球面:7858  高精度定位:3574  面形检验:2687  非球面反射镜:2106  自由曲面:1987  光学检测:1845  技术实现:1488  检测技术:1204  光路:1179  对准:1178