Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 大型衍射光栅刻划机控制系统研究 | |
| 刘栋材; 申远; 钟俊; 齐向东; 于海利; 竺长安 | |
| 2011-06-15 | |
| 发表期刊 | 中国科学技术大学学报
 |
| 期号 | 06页码:560-564 |
| 关键词 | 高精度光栅 机械结构 控制系统 定制负荷 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27427 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘栋材,申远,钟俊,等. 大型衍射光栅刻划机控制系统研究[J]. 中国科学技术大学学报,2011(06):560-564. |
| APA | 刘栋材,申远,钟俊,齐向东,于海利,&竺长安.(2011).大型衍射光栅刻划机控制系统研究.中国科学技术大学学报(06),560-564. |
| MLA | 刘栋材,et al."大型衍射光栅刻划机控制系统研究".中国科学技术大学学报 .06(2011):560-564. |
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| 大型衍射光栅刻划机控制系统研究.caj（1562KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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