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粗糙度对极紫外投影光刻掩模的影响 期刊论文
光电工程, 2005, 期号: 10, 页码: 80-83
作者:  杨雄;  金春水;  姚志华;  曹健林
caj(1187Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：461/103  |  提交时间：2013/03/11
极紫外投影光刻  掩模  粗糙度  反射光谱  多层膜  
15—75nm波段室温干燥空气的光谱分辨XUV透过率测量 期刊论文
光谱实验室, 2005, 期号: 04, 页码: 770-772
作者:  齐立红;  张大威;  李忠芳;  陈淑妍;  尼启良;  巩岩;  陈波
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室温空气  极紫外辐射(Xuv)透过率  光谱测量。  
17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究 期刊论文
光学精密工程, 2005, 期号: 02, 页码: 225-230
作者:  薛玲玲;  陈波;  尼启良;  张华;  曹轲;  张玲
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极紫外  激光等离子体  单色仪  微通道板  
一种空间超紫外望远镜在轨指向标定方法 期刊论文
光学技术, 2005, 期号: 02, 页码: 315-318
作者:  陈波;  苏宙平;  尼启良
caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：433/86  |  提交时间：2013/03/11
空间  极紫外  望远镜  指向标定  
极紫外多层膜残余应力初步研究 期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 期号: 03, 页码: 377-380
作者:  向鹏;  金春水;  张立超;  金伟华;  刘颖敏;  曹健林
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极紫外  多层膜  残余应力