Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究 | |
薛玲玲; 陈波 ; 尼启良; 张华; 曹轲; 张玲
| |
| 2005-04-25 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 02页码:225-230 |
| 关键词 | 极紫外 激光等离子体 单色仪 微通道板 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29774 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 薛玲玲,陈波,尼启良,等. 17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究[J]. 光学精密工程,2005(02):225-230. |
| APA | 薛玲玲,陈波,尼启良,张华,曹轲,&张玲.(2005).17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究.光学精密工程(02),225-230. |
| MLA | 薛玲玲,et al."17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究".光学精密工程 .02(2005):225-230. |
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| 17_1nm波段光电成像系统分辨率的实验（239KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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