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精密激光刻划机中的光学技术 期刊论文
长春光学精密机械学院学报, 1997, 期号: 04, 页码: 43-45
作者:  张秋鄂;  李永正
caj(100Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：419/92  |  提交时间：2013/03/11
激光  刻划  
接近式光刻刻划间隙的确定 期刊论文
仪器仪表学报, 1997, 期号: 04, 页码: 81-84+97
作者:  付永启
caj(76Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：429/71  |  提交时间：2013/03/11
刻划间隙:7286  接近式光刻:5937  刻线质量:2182  线密度:1418  光强度分布:1194  菲涅耳衍射:1113  掩模板:949  衍射效应:715  泰伯效应:634  定量分析:622  
含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定 期刊论文
光学精密工程, 1997, 期号: 03, 页码: 97-101
作者:  杨进堂
caj(42Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：461/87  |  提交时间：2013/03/11
圆光栅  周期性误差  刻划误差检测