CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定
杨进堂
1997-06-30
发表期刊光学精密工程
期号03页码:97-101
关键词圆光栅 周期性误差 刻划误差检测
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32164
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
杨进堂. 含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定[J]. 光学精密工程,1997(03):97-101.
APA 杨进堂.(1997).含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定.光学精密工程(03),97-101.
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