Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 精密激光刻划机中的光学技术 | |
| 张秋鄂; 李永正 | |
| 1997-12-30 | |
| 发表期刊 | 长春光学精密机械学院学报
 |
| 期号 | 04页码:43-45 |
| 关键词 | 激光 刻划 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30626 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张秋鄂,李永正. 精密激光刻划机中的光学技术[J]. 长春光学精密机械学院学报,1997(04):43-45. |
| APA | 张秋鄂,&李永正.(1997).精密激光刻划机中的光学技术.长春光学精密机械学院学报(04),43-45. |
| MLA | 张秋鄂,et al."精密激光刻划机中的光学技术".长春光学精密机械学院学报 .04(1997):43-45. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 精密激光刻划机中的光学技术.caj（100KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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