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DCPA光刻胶的软X射线感光灵敏度初步测量 期刊论文
微细加工技术, 1995, 期号: 04, 页码: 11-14
作者:  郭玉彬
caj(137Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：406/85  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  光刻胶  感光灵敏度  
软X光激光用多层膜反射镜的设计与性能模拟计算 期刊论文
光学学报, 1995, 期号: 08, 页码: 1088-1093
作者:  张俊平;  曹健林;  马月英;  高宏刚;  陈斌;  吕俊霞;  裴舒;  陈星旦
caj(252Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：431/65  |  提交时间：2013/03/11
软x射线多层膜  激光反射镜  膜系设计和模拟计算  
用近贴式软X射线光刻术研究DCPA光刻胶的曝光性能 期刊论文
光子学报, 1995, 期号: 03, 页码: 249-257
作者:  郭玉彬;  李福田;  唐九华;  李加;  慎微;  杜涌兴
caj(247Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：418/83  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  近贴式  光刻胶  光刻术  
激光等离子体软X射线接近式光刻术初步研究 期刊论文
光学学报, 1995, 期号: 03, 页码: 313-319
作者:  郭玉彬;  李福田;  唐九华;  李加
caj(961Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：459/76  |  提交时间：2013/03/11
软x射线  激光等离子体  光刻术  光刻胶  
用磁控溅射法制备软X射线多层膜 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 01, 页码: 16-20
作者:  张俊平;  马月英;  高宏刚;  陈斌;  裴舒;  吕俊霞;  曹健林
caj(162Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：347/51  |  提交时间：2013/03/11
磁控溅射  软x射线多层膜