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Mo/Si原子高能量沉积中反射和再溅射的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 11, 页码: 46-53
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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原子与分子物理学  分子动力学  反射  再溅射  Mo/Si原子  角度分布  能量分布  
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜;  李春;  邓文渊
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薄膜  Mo/Si多层膜  极紫外光刻  磁控溅射  表面粗糙度  功率谱密度  
便携式调制传递函数测试仪的研制 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 11, 页码: 95-101
作者:  袁理;  张晓辉;  刘振江;  韩冰;  聂真威
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成像系统  调制传递函数测试仪  图像处理  可见光镜头  
极紫外光辐照下表面碳沉积污染的计算模型 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 5, 页码: 299-305
作者:  王珣;  金春水;  匡尚奇;  喻波;  金方圆
caj(351Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：451/114  |  提交时间：2015/04/17
薄膜  极紫外光刻  碳沉积模型  迭代法  
基于全息术的无计算波前传感方法 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 12, 页码: 83-88
作者:  姚凯男;  王建立;  吴元昊;  王斌;  曹景太;  汪宗洋;  刘维
caj(361Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：572/191  |  提交时间：2014/03/07
自适应光学  全息术  波前传感器  无计算  
利用相位差异技术校准非共光路静态像差 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 07, 页码: 41-45
作者:  汪宗洋;  王斌;  吴元昊;  孟浩然;  刘欣悦;  林旭东
caj(1288Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：521/128  |  提交时间：2013/03/11
自适应光学  几何光学  波前探测  相位差异  静态像差  
以碳纳米管阵列为场致发射阴极的X射线源研究 期刊论文
光学学报, 2004, 期号: 10, 页码: 1434-1436
作者:  解滨;  陈波;  宋航;  元光;  巩岩;  尼启良
caj(39Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：417/69  |  提交时间：2013/03/11
X射线源  碳纳米管  场致发射  流气式正比计数器  光谱  
离轴非球面三反射镜光学系统装调中计算机优化方法的研究 期刊论文
光学学报, 2001, 期号: 01, 页码: 54-58
作者:  张斌;  韩昌元
caj(82Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：299/47  |  提交时间：2013/03/11
计算机辅助装调  自准干涉检验  最小乘优化算法  失调  
共路外差表面轮廓仪 期刊论文
光学学报, 1993, 期号: 07, 页码: 670-672
作者:  韩昌元;  刘斌;  卢振武;  张晓辉;  顾去吾
caj(103Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：423/58  |  提交时间：2013/03/11
表面轮廓仪  外差  粗糙度