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光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 09, 页码: 224-229
作者:  赵磊;  巩岩
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光学器件  光刻投影物镜  透镜支撑结构  自重变形  热变形  
宽谱高分辨平场凹面全息光栅光谱仪设计 期刊论文
光学学报, 2012, 期号: 04, 页码: 83-87
作者:  武建芬;  赵雷;  陈永彦;  周超;  王泰升;  王宇
caj(433Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：636/196  |  提交时间：2013/03/11
光谱学  平场全息光栅  高分辨  宽光谱