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基于MEMS的无阀泵研究进展 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 4
作者:  白兰;  冯志庆;  吴一辉
caj(925Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：424/77  |  提交时间：2012/09/25
Mems  微型无阀泵  扩张管/收缩管  
利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 3
作者:  张立超
caj(169Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：313/24  |  提交时间：2012/09/25
脉冲电镀制备硅基细晶镍铁合金薄膜 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 2
作者:  马波;  刘波;  吴一辉;  贾宏光;  张平
caj(1169Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：376/98  |  提交时间：2012/09/25
硅基  镍铁薄膜  脉冲电流  晶粒  
基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 1
作者:  李文昊;  巴音贺希格;  齐向东
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全息光栅  光刻胶热熔法  离子束刻蚀  原子力显微镜  
高精度长线列密排光纤阵列的制作研究 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 1
作者:  梁静秋
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一种微电解池式微流量传感器的研制 期刊论文
微细加工技术, 2007, 期号: 1
作者:  吴一辉
caj(363Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：315/42  |  提交时间：2012/09/25